◎ 科技日报记者 魏依晨

    3月15日，由中国电工技术学会主持、宁夏超导泛科技有限责任公司（以下简称“宁夏超导泛科技”）牵头组织的“高温超导磁控硅单晶生长装备、技术及应用科技成果鉴定会”在宁夏银川市举办。

    鉴定会上，由中国科学院院士甘子钊领衔的专家委员会对项目进行了全面评估。专家一致认为，该技术填补了我国在高端硅晶体制造领域的多项空白，综合性能达到国际领先水平。

    据介绍，高温超导磁控硅单晶生长装备、技术及应用的关键，在于引入高温超导磁体技术。科研团队针对高品质大尺寸硅单晶生长技术瓶颈，研制出高温超导磁控硅单晶生长装备，形成大尺寸硅单晶长棒快速、高稳定性、低含氧量的生长工艺，实现大尺寸（12英寸以上）高品质硅单晶的生产，经济和社会效益显著。

科技日报记者 魏依晨 摄

    根据项目报告显示，宁夏超导泛科技自主研发的高温超导磁控硅单晶生长设备及技术，可将硅片含氧量稳定控制在5ppma（质量百万分比）以下，硅棒头尾利用率提升4%以上，生产效率提升12%，目前已拉出直径达340毫米的高品质硅棒。

    甘子钊院士在评审中表示：“这是国际上首次将高温超导技术应用于磁控直拉单晶生长，为高温超导技术产业化做了很多开创性的工作，开辟了超导技术产业化新赛道。”他特别提到，该技术对实现“双碳”目标具有战略意义。

    来源：科技日报

    编辑：王宇

    审核：张爽